原理与知识
从牛顿环到光谱拟合，讲清膜厚测量的物理原理
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光学测厚三兄弟：反射式、椭偏式、白光干涉式怎么分工
光学测厚的三条主流路线，反射式、椭偏式、白光干涉式，经常被放进同一张参数表里比较，然后得出「谁精度最高」的结论。这种比法有误导性。三条路线解决的是不同的问题，正确的问法是「我的膜系适合哪条」。
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粗糙度参数入门：Ra、Rq、Sa、Sz 与背后的滤波
拿到一份粗糙度报告，最容易被问倒的不是数据，是参数：Ra 和 Rq 差在哪？Sa 和 Ra 什么关系？为什么同一片样品两家实验室报的 Ra 不一样？这篇把常用参数和它们背后的处理链条一次讲清。
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什么是光谱共焦传感器：一条光路里的微型光谱仪
在光学量测的家族里，光谱共焦（Chromatic Confocal）是最被低估的一位。它的名字里没有「膜厚」也没有「粗糙度」，但它同时是两类仪器的核心：高精度位移/形貌传感器的探头，和透明膜测厚的一把好手。
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Ψ 和 Δ：椭偏仪的两个参数与它的灵敏度
椭偏仪的一切性能，最后都落到两个希腊字母上：Ψ（Psi）和 Δ（Delta）。这篇说清楚它们是什么、为什么这样定义、以及为什么这套定义让椭偏测量如此灵敏。
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什么是椭偏仪：用偏振读薄膜
同样是非接触光学测膜，椭偏仪和反射式膜厚仪是两条平行的技术路线。它们看的是同一个物理过程，光从薄膜上反射，但看的属性不同。反射式看强度（哪些波长反射得多、哪些少），椭偏仪看偏振（反射这件事如何改变了光的偏振状态）。
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折射率与厚度的耦合：为什么宽谱是必需品
用反射光谱测膜厚，仪器真正直接测到的量是光学厚度 n·d，折射率乘以几何厚度。想分开得到 n 和 d，得靠拟合。这带来一个容易低估的麻烦：n 和 d 在拟合里是纠缠的。
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膜厚是怎么被读出来的：反射光谱的条纹物理
很多用户用了几年膜厚仪，对它的理解停在「照一下，出个数」。这个黑盒里发生的事其实不复杂，而且值得弄懂，因为选型、验收、排查数据异常，全靠对这条原理的理解。
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什么是光学反射式膜厚仪：从牛顿环到光谱拟合
1704年，牛顿把一个凸透镜压在平板玻璃上，数出了围绕接触点的一圈圈彩色圆环。他不知道「干涉」这个词，但他做对了一件决定性的事：把颜色和空气膜的厚度对应起来，还动手算出了每个环对应的厚度。薄膜会把自己多厚这件事，
