科研级膜厚测量

为科学研究和高端应用设计的超高精度膜厚测量解决方案,满足最严苛的科研需求

ES-Primo

ES-Primo 椭偏仪

高端椭圆偏振光谱仪,采用先进的偏振调制技术,适用于纳米级薄膜的精确测量。可同时测量薄膜厚度和光学常数(n, k),为科学研究提供最精准的数据。已成功应用于多个科研项目。

  • 纳米级精度,厚度测量精度±0.01nm
  • 椭圆偏振技术,可同时测量厚度和光学常数
  • 多层膜分析,支持最多50层膜
  • 高端科研应用,适用于半导体、光学、材料科学等领域
  • 可与AFM、拉曼光谱等联用
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NS-20

NS-20 手动测厚

悉识科技自主研发的反射式显微膜厚测量分析系统,采用白光干涉技术,实现非接触、无损的纳米级膜厚测量。适用于实验室科研环境,从基础研究到前沿探索的全方位解决方案。

  • 测量范围:10nm - 200μm(可扩展至1000μm)
  • 测量精度:±0.1nm(单层膜),±0.5nm(多层膜)
  • 重复性精度:0.01nm(100次标准差)
  • 支持最多50层膜厚分析
  • 便携式设计,适用于实验室科研环境
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NS-Vista

NS-Vista 双通道

双通道高精度膜厚测量系统,采用双光路设计,可同时进行参考测量和样品测量,显著提高测量精度和稳定性。适用于复杂多层膜的科研分析。

  • 双通道设计,参考通道和测量通道独立
  • 高精度测量,精度可达±0.05nm
  • 多层膜分析,支持最多50层膜
  • 测量范围:10nm - 200μm
  • 支持同时测量光学常数(n, k)
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NS-Flex

NS-Flex 便携多模态

便携式多模态膜厚测量仪,集成了多种测量模式,适用于各种科研场景。从实验室到野外,从基础研究到应用探索,提供灵活的测量解决方案。

  • 便携式设计,支持手持和台式两种模式
  • 多模态测量,支持反射、透射、椭偏等多种模式
  • 高精度科研级,精度可达±0.1nm
  • 测量范围:10nm - 200μm
  • 支持最多50层膜厚分析
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