NS-20集成了悉识科技多项核心技术,为您提供出色的测量体验
测量精度可达±0.5nm,满足精密研发需求
单点测量仅需1秒,支持批量样品快速扫描
内置AI算法(可选),自动拟合薄膜模型,测量速度可达1000点/秒以上
图形化界面,无需专业培训即可上手
NS-20系列提供三个波段型号,支持灵活组合,满足不同应用场景的测量需求
紫外波段专用
标准通用型
近红外波段专用
不同波段型号可自由组合,提供更广泛的测量能力
深紫外增强
近红外扩展
覆盖190 nm - 1700 nm超宽光谱范围
同时满足紫外、可见光、近红外薄膜测量需求
专业级配置,满足各类薄膜测量需求
测量原理
白光干涉技术
波长范围
190-1700nm
重复精度
0.01nm
样品尺寸
最大 200mm(可定制其他方案)
测量速度
0.001~1秒/点(取决于具体算法)
膜厚范围
1nm-260μm
广泛应用于半导体、光学、科研等领域的薄膜测量
晶圆、光刻胶薄膜厚度测量与监控
增透膜、反射膜、滤光片等光学薄膜测量
纳米材料、功能薄膜的研究与分析
生产线薄膜厚度在线检测与品质管控