ES-Primo椭圆偏振光谱仪集成了悉识科技多项创新技术，为科研用户提供最精准的薄膜测量解决方案
厚度测量精度可达±0.01nm，光学常数精度±0.001，满足最严苛的科研需求
可同时测量薄膜厚度和光学常数（n, k），为材料研究提供更全面的数据支持
单点测量仅需1秒，支持大面积样品的快速 mapping 测量
可与AFM、拉曼光谱、低温系统等设备联用，满足多样化科研需求
ES-Primo椭圆偏振光谱仪的详细技术规格
| 参数项 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | Primo UVX（可选配其他波段） |
| 波长范围 | 190 nm – 1700 nm |
| 入射角 | 45-90 degree |
| 厚度测量范围 | 0.01 nm – 50 μm |
| 准确度(SiO2 on Si) | ± 1.5Å or 0.2% |
| 静态重复精度1σ | 0.1Å or 0.01% |
| 折射率准确度 | ≤±0.005 (SiO2 on Si) |
| 折射率静态重复精度1σ | ≤0.0005 (SiO2 on Si) |
| 光斑大小 | 标准测量光斑2mm，可选范围 50 μm – 400 μm小光斑 |
| 测量速度 | < 10s（单次测量）（可选配快速测量方案，快至1s） |
| 光源 | 卤钨灯 + 氘灯 |
| 样品尺寸 | 直径从1mm 到 300mm或更大 |
| 样品厚度 | 支持0.1mm ≤ t ≤ 6mm（可定制） |
| 样品台配置 | 信号辅助调平功能，Z轴可升降，可调节样品台俯仰角 |
| 材料库 | 内置超百种材料，并包含Cauchy, Cauchy Urbach, Lorentz, Sellmeier, Harmonic Oscillator, Tauc-Lorentz, Drude, Gaussian, EMA, Multi-oscillator 等多种振子模型。软件可开放谐振子模型 |
ES-Primo椭圆偏振光谱仪广泛应用于各种科研领域，为材料科学研究提供精准的薄膜测量解决方案
测量高k栅极介质、FinFET结构、3D NAND等先进半导体器件中的超薄层厚度和光学常数。
测量石墨烯、过渡金属硫族化合物、MXene等二维材料的层数和厚度，支持大面积mapping测量。
测量AR/HR涂层、滤光片、分光镜等光学元件的膜层厚度和光学常数，支持多层膜分析。
测量生物膜、蛋白质吸附层、细胞培养基质等生物材料的厚度和光学特性，支持原位测量。
测量太阳能电池、锂电池电极、燃料电池等新能源器件中的功能薄膜厚度和光学性能。
研究材料的介电函数、能带结构、等离子体共振等基础物理性质，支持变温、变场测量。
