ES-Primo椭圆偏振光谱仪集成了悉识科技多项创新技术，为科研用户提供最精准的薄膜测量解决方案
厚度测量精度可达±0.01nm，光学常数精度±0.001，满足最严苛的科研需求
可同时测量薄膜厚度和光学常数（n, k），为材料研究提供更全面的数据支持
单点测量仅需1秒，支持大面积样品的快速 mapping 测量
可与AFM、拉曼光谱、低温系统等设备联用，满足多样化科研需求
ES-Primo椭圆偏振光谱仪的详细技术规格
| 参数项 | 规格 |
|---|---|
| 测量原理 | 偏振调制椭圆偏振光谱法 |
| 波长范围 | 190 nm – 2100 nm |
| 测量范围 | 0.1nm – 5μm |
| 厚度精度 | ±0.01nm（单层膜） |
| 光学常数精度 | ±0.001（n, k） |
| 重复性 | 0.005nm（1σ） |
| 测量速度 | 1秒/点（标准模式） |
| 光斑尺寸 | 1mm – 3mm（可调） |
| 样品尺寸 | 最大12英寸晶圆 |
| 联用兼容 | AFM、拉曼、低温系统等 |
ES-Primo椭圆偏振光谱仪广泛应用于各种科研领域，为材料科学研究提供精准的薄膜测量解决方案
测量高k栅极介质、FinFET结构、3D NAND等先进半导体器件中的超薄层厚度和光学常数。
测量石墨烯、过渡金属硫族化合物、MXene等二维材料的层数和厚度，支持大面积mapping测量。
测量AR/HR涂层、滤光片、分光镜等光学元件的膜层厚度和光学常数，支持多层膜分析。
测量生物膜、蛋白质吸附层、细胞培养基质等生物材料的厚度和光学特性，支持原位测量。
测量太阳能电池、锂电池电极、燃料电池等新能源器件中的功能薄膜厚度和光学性能。
研究材料的介电函数、能带结构、等离子体共振等基础物理性质，支持变温、变场测量。
