垂直入射高稳定宽波段光测量技术，非接触式薄膜厚度精密检测
采用垂直入射的高稳定宽波段光入射到样品表面，在各膜层之间产生光学干涉现象，反射光经过光谱分析以及回归算法可计算出薄膜各层的厚度。
宽波段光源提供稳定的光谱覆盖范围
多层膜干涉产生特征反射光谱
回归算法精确计算各层膜厚参数
适合测量纳米级至微米级的透明或半透明膜层
纳米多层膜结构
干涉反射率光谱曲线
偏振光入射样品表面，反射光偏振态发生改变
通过测量椭圆偏振参数Ψ和Δ获取光学常数
同时测量膜厚、折射率n和消光系数k
适合测量超薄膜层（<10nm）和复杂光学材料
线偏振光或椭圆偏振光以特定角度入射到样品表面
测量反射光偏振态变化，获得振幅比Ψ和相位差Δ
通过光学模型拟合，计算膜厚、折射率和消光系数
软硬件完全国产化自主知识产权，核心技术达国际先进水平
核心部件自主研发，拥有完整自主知识产权
可测量1纳米到3毫米的薄膜厚度、折射率、反射率
可测量硬质材料、软质材料或表面易受损的样品
亚纳米级厚度测量精度，静态稳定性可达0.02纳米
可以测量多层复合薄膜各层的厚度与光学参数
核心专利算法，一键式测量大跨度膜厚，极大简化测量流程
自研PolarX分析软件，包含配方预测验证、特殊材料捏合等独特功能
静态稳定性可达0.02纳米，长期使用测量结果稳定可靠
多维度薄膜分析功能，满足从研发到生产的全场景测量需求
反射率优化拟合算法，精准测量薄膜厚度
采用先进的反射率拟合算法，通过最小二乘法优化目标函数，实现对薄膜反射光谱的高精度拟合。该算法能够快速收敛，即使对于复杂的多层膜结构也能准确计算各层厚度。
傅里叶变换算法，处理厚膜干涉信号
针对厚膜测量开发的傅里叶变换算法，能够有效处理密集的干涉条纹，精确提取厚膜的厚度信息。该算法在保证测量精度的同时，大幅提升了厚膜测量的速度。
一键式测量多种厚度的样品
创新的配方预测验证功能，只需一次测量即可获得多种厚度样品的预测结果。软件自动分析光谱特征，快速推算目标厚度范围，大幅提升研发和生产效率。
直观展示混合材料的组成与分布
针对特殊混合材料开发的可视化分析功能，通过创新的算法模型将复杂的光谱数据转化为直观的图形展示，帮助用户快速理解混合材料的组成与分布特征。