桌面式自动膜厚测量分析系统

NS-30
自动膜厚测量系统

桌面式自动膜厚测量分析系统，叠加自动测样载台，可对设置好的点位进行自动测量，生成2D和3D分布图。适用于晶圆膜厚测量和光伏电池膜厚测量。

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NS-30 高精度膜厚仪

核心特性

NS-30集成了悉识科技最前沿的技术成果，为高端应用提供无可比拟的测量能力

自动测量载台

叠加自动测样载台，可对设置好的测量点位进行自动测量，提升批量测量效率

多尺寸平台

支持200mm至450mm多种载台尺寸，适配不同尺寸样品测量需求

2D/3D Mapping

软件自动生成测量点分布，并显示厚度、折射率、反射率的2D和3D分布图

AI增强的高速测量

AI增强的高速测量能力，可达每秒1,000个点以上，大幅提升生产效率

高精度测量

测量重复精度可达0.05nm，满足精密研发需求

应用领域

NS-30广泛应用于半导体、光学镀膜、科研等高端领域

半导体制造

  • 先进制程薄膜厚度监测
  • 光刻胶厚度精确控制
  • 高介电常数栅氧层测量

光学薄膜

  • AR/VR光学镀膜检测
  • 激光器件薄膜质量控制
  • 滤光片厚度均匀性评估

科研院所

  • 二维材料厚度测量
  • 原子层沉积ALD膜厚研究
  • MEMS微机电结构检测

技术规格

NS-30系列提供三种型号，覆盖不同光谱范围，满足各类膜厚测量需求

NS-30UV

紫外波段专用

光谱范围 190 nm – 1100 nm
适用波长 深紫外至可见光
推荐应用 纳米级薄膜，新型超薄膜

NS-30

标准通用型

光谱范围 380 nm – 1050 nm
适用波长 可见光至近红外
推荐应用 通用膜厚测量

NS-30NIR

近红外波段专用

光谱范围 950 nm – 1700 nm
适用波长 近红外波段
推荐应用 红外NK测量、厚膜

载台规格

载台尺寸 200mm / 300mm / 450mm
最大样品尺寸（可定制） 450mm × 450mm (18英寸)
样品厚度 0.05mm - 100mm
测量光斑直径 120μm - 10mm (可选)
样品台行程 R: 150mm, T: 360° （标准版）
工作距离 30mm - 60mm

软件与接口

操作系统 Windows 11
数据接口 USB
测量点设置 软件自动生成分布
显示功能 2D/3D Mapping分布图
测量参数 厚度、折射率、反射率
特殊功能 应力(Stress)/弯曲度(Bow)测量

相关文档

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