光伏电池效率和稳定性与薄膜厚度密切相关,精确的膜厚控制是提升电池性能的关键
转换效率
薄膜厚度直接影响光吸收、载流子传输和电池转换效率
工艺均匀性
电池片表面薄膜厚度的均匀性是衡量工艺质量的重要指标
长期稳定性
合适的薄膜厚度可提高电池的抗老化性能和长期稳定性
成本控制
精确的膜厚控制可减少材料浪费,降低生产成本
减反射膜 (ARC)
减少光反射,提高光吸收效率
发射极层 (Emitter)
n型掺杂层,形成PN结
本征层 (i-layer)
钝化层,减少复合
背表面场 (BSF)
提高少数载流子收集效率
针对不同光伏技术路线的薄膜测量需求,提供专业的测量方案
支持N型和P型单晶硅、多晶硅衬底的厚度测量,适用于晶圆制造和电池片生产过程中的厚度监控。
支持多晶硅(Poly-Si)薄膜的厚度测量,适用于TOPCon、IBC等高效电池技术的poly层厚度监控。
支持钙钛矿活性层、电子传输层(ETL)、空穴传输层(HTL)等多层膜系的厚度测量,适用于钙钛矿叠层电池研发和生产。
支持SiNx、SiO2、Al2O3等减反射膜和钝化膜的厚度测量,适用于电池片表面处理工艺监控。