NS-Micro 系列 (显微膜厚仪)

NS-Micro系列是显微镜集成式膜厚测量分析系统。在标准显微镜基础上叠加光谱测量模块，能够将测量光斑精准聚焦至1微米区域，并实时显示测量点位彩色图像。 NS-Micro系列适用于微小区域膜厚测量或实验室研发场景等。

NS-Micro 特色

NS-Micro系列 参数规格

型号	NS-MicroUV	NS-Micro	NS-MicroUVX	NS-MicroEXR
波长范围	190 – 1000 nm	380 – 1100 nm	190 – 1700 nm	380 – 1700 nm
5X物镜测量范围1	–	15 nm – 75 μm	–	–
10X物镜测量范围		15 nm – 16 μm
15X物镜测量范围	1 nm – 30 um	15 nm – 100 um	1 nm – 100 um	15 nm – 100 um
20X物镜测量范围1	–	15 nm – 6 μm	–	–
50X物镜测量范围1	–	15 nm – 2 μm	–	–
100X物镜测量范围1	–	15 nm – 1 μm	–	–
准确度2	1 nm 或 0.2%	2 nm 或 0.2%	1 nm 或 0.2%	2 nm 或 0.2%
精度3	0.02 nm
稳定性4	0.05 nm
测量速度	< 1s（单次静态测量）
光源	氘灯＋卤钨灯	卤钨灯	氘灯＋卤钨灯	卤钨灯
样品尺寸	直径从1mm 到 300mm或更大

1 取决于具体材料

2 Si/SiO2(500~1000nm)标样片

3 计算100次测量500nm SiO2标准片的1倍标准偏差，对20个有效测量日的1倍标准偏差取平均

4 计算100次测量500nm SiO2标准片的平均值，对20个有效测量日的平均值做2倍标准偏差

光斑尺寸	500μm 孔径	250μm 孔径	100μm 孔径
5X物镜	100 μm	50 μm	20 μm
10X物镜	50 μm	25 μm	10 μm
15X物镜	33 μm	17 μm	7 μm
50X物镜	10 μm	5 μm	2 μm
100X物镜	5 μm	2.5 μm	1 μm