悉识科技参与起草 T/CIET 2298-2026《薄膜干涉膜厚测量系统校准规范》正式发布实施

2026 年 1 月 14 日，T/CIET 2298-2026《薄膜干涉膜厚测量系统校准规范》由中国国际经济技术合作促进会正式发布并实施。该规范面向分光干涉式薄膜干涉膜厚测量系统，明确了计量特性、校准条件、校准项目、校准方法及结果表达等技术要求，苏州悉识科技有限公司为主要起草单位之一。

本规范适用于10 nm～1 mm厚度测量范围的薄膜干涉膜厚测量系统校准，对波长示值误差、波长重复性、光谱反射 / 透射比示值误差、厚度测量示值误差、重复性、稳定性等关键指标作出统一规定，同时给出厚度解析方法、测量结果不确定度评定示例、校准记录与证书格式，为行业提供可执行、可溯源的技术依据。

规范起草工作由多家单位联合完成，悉识科技依托在光学检测、光谱分析与计量校准领域的技术积累，在计量特性论证、校准方法验证、数据模型优化等方面提供技术支持，保障规范科学严谨、贴合产业实际。

随着半导体、微纳米加工、光学薄膜等领域对高精度膜厚检测需求持续提升，统一、规范的校准体系对保障测量一致性、实现量值溯源具有重要意义。悉识科技将继续以标准为牵引，深化技术研发与工程应用，为薄膜检测与计量校准领域的规范化、高质量发展提供支撑。