与XRR(X射线反射率)仪器对比,半透明基底上数个纳米的超薄厚度,悉识科技的反射式膜厚仪的测量偏差在1纳米以内,这得益于悉识科技的高稳定性算法与光学方案。
原子层沉积ALD(点击查看) 悉识科技的膜厚仪具备离线和在线原位两种测量模式。离线测量可在生产过程结束后,对 ALD 沉积薄膜进行全面、细致的厚度检测,为质量控制和工艺优化提供关键数据支持。
化学气相沉积CVD(点击查看) 单层、多层的介质薄膜厚度测量。悉识科技的膜厚监测解决方案为 CVD 工艺的优化和薄膜质量的提升提供了有力支持,助力推动相关产业的持续发展和技术创新。
阻挡层厚度(Barrier Layer)(点击查看) 氮化钛(TiN)、氮化钽(TaN)、二氧化钛(TiO₂)层等工艺制程的厚度监测