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English光刻胶测量的“安全”专家
🔹 非曝光波段光源｜避开敏感波段，杜绝胶层变性
🔹 原位无损检测法｜无需破坏样品，实时监控工艺
🔹 纳米级超高精度｜消除基底干扰，精准把控厚度
传统光刻胶测量的挑战
•🚫 样品损伤｜强光照射致胶层曝光变性
•📉 测量误差｜复杂基底与多层结构干扰
•⏳ 效率低下｜手动对焦耗时，重复性差
•⚠️ 工艺隐患｜接触式测量引入颗粒污染
悉识科技膜厚仪：专业无损测量光刻胶
🛡️ 物理级安全防线
剔除紫外波段，确保光刻胶“零曝光、零变性”
🎯 穿透厚膜的“火眼金睛”
针对百微米超厚光刻胶，实现高信噪比测量
⚡厚度 (d) 与光学常数 (n, k) 智能解算
自动解析厚度峰值，无需人工拟合，秒级出数
产品特色
📊极致性能
•15nm – 1.5mm (量程覆盖薄膜至厚膜)
•< 0.02 nm (静态测量稳定性)
•多层全参解析 (含厚度及 n、k)
🛠️灵活定制
•0.2mm (可选配微小光斑)
•便携 / 在线 (支持手提箱及产线集成)
•100% 国产 (软硬件自主可控)
🧠智能算法
•PolarX (自研核心算法引擎)
•1 秒出数 (一键全自动拟合)
•无门槛 (流程极简，快速上手)
在线咨询：悉识科技杨经理 13817395811
联系邮箱：info@acuitik.com
联系地址：上海市浦东新区张江高科技园区祥科路298号
