测量原理
采用垂直入射的高稳定宽波段光入射到样品表面，在各膜层之间产生光学干涉现象，反射光经过光谱分析以及回归算法可计算出薄膜各层的厚度。
干涉光谱分析技术
宽波段光源提供稳定的光谱覆盖范围
多层膜干涉产生特征反射光谱
回归算法精确计算各层膜厚参数
适合测量纳米级至微米级的透明或半透明膜层
硅片上纳米多层膜的干涉反射光谱曲线
纳米多层膜结构
干涉反射率光谱曲线
垂直入射高稳定宽波段光测量技术，非接触式薄膜厚度精密检测
采用垂直入射的高稳定宽波段光入射到样品表面，在各膜层之间产生光学干涉现象，反射光经过光谱分析以及回归算法可计算出薄膜各层的厚度。
宽波段光源提供稳定的光谱覆盖范围
多层膜干涉产生特征反射光谱
回归算法精确计算各层膜厚参数
适合测量纳米级至微米级的透明或半透明膜层
纳米多层膜结构
干涉反射率光谱曲线
悉识科技反射式干涉光谱分析技术的核心优势
从10nm到3mm的广泛测量范围，覆盖从纳米薄膜到厚膜的各种应用需求
测量精度可达±0.1%，在宽测量范围内保持出色的测量稳定性和重复性
单点测量时间小于1秒，支持连续测量模式，满足在线检测和大规模生产需求
采用光学非接触测量方式，不会对样品造成任何损伤，适合精密元件检测
支持多层膜结构分析，可同时测量各层膜厚度和光学常数
模块化设计，便于集成到生产线和自动化设备中，支持OEM定制
晶圆镀膜厚度监测、刻蚀终点检测、薄膜工艺控制
增透膜、高反射膜、滤光片等光学薄膜的厚度控制
LCD、OLED、触控屏等显示面板的薄膜测量
太阳能电池薄膜厚度检测、钝化层质量控制
材料科学研究、纳米薄膜制备、新材料光学特性分析
五金镀层、装饰镀层、功能性镀层厚度测量